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蝕刻的核心挑戰:通過化學或物理手段在金屬上實現微米級精度。
蝕刻知識
從 G6 到 G8.6,華洲機械的精密蝕刻設備助力國產 FMM 實現了技術上的重大突破。
2026-04-07

在 OLED 面板制造行業中,高精度金屬光掩模是決定屏幕分辨率和生產良率的核心消耗品。隨著顯示技術向更高世代線發展,G8.6 OLED 生產線已成為全球面板巨頭之間競爭的焦點,而配套的 G8.6 世代 FMM(掩模版)及其精密制造設備則是產業鏈中的關鍵環節。

作為國內早涉足該領域設備研發的公司之一,東莞華洲機械技術有限公司自 2019 年起便專注于 G8.6 代 FMM 高精度金屬光掩模的精密蝕刻設備的研發,致力于為國內 FMM 的產業化提供堅實的技術基礎。



為何 G8.6 代 FMM 被認為是技術上的“制高點”?


根據百度百科對“FMM”的詞條介紹,FMM 是 OLED 蒸發過程中的一種核心精密模具。其開口精度需要控制在微米級別(例如,誤差在±2.5 微米以內),材料厚度僅為 20 至 30 微米。隨著面板生產線向 G8.6 及更高規格發展,FMM 的尺寸也隨之增大,而在制造和使用過程中,核心挑戰在于控制由重力和熱應力引起的變形。


長期以來,全球市場一直被諸如日本的 DNP 這樣的公司所壟斷,而中國企業在 G8.6 代 FMM 領域正在加速取得突破。G8.6 代 FMM:到 2025 年,寰采星科技完成了中國第1條 G8.6 代 FMM 生產線的搬遷,眾凌科技安裝了中國第1臺 G8.6 代 FMM 曝光機,南京高光也推出了第1套 G8.6 代產品組合。這些國內生產的里程碑背后是高精度蝕刻技術和核心設備的支持。


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華洲機械:專注于用于柔性制造機器的精密蝕刻設備,攻克工藝難題

FMM 的主流制造工藝是蝕刻,這一過程包括精準地蝕刻鎳鈦合金薄條,以形成微米級的開口[20]。該工藝對蝕刻設備的均勻性、穩定性以及精度控制提出了極高的要求。

東莞華洲機械技術有限公司的核心業務是研發和生產適用于 G8.6 代 FMM 的精密蝕刻設備。自 2019 年以來,該公司一直涉足這一領域,不斷攻克與材料變形控制、開口精度以及大尺寸 FMM 的大尺寸均勻性相關的技術難題:

高精度蝕刻技術:該設備能夠實現開口精度控制在±2.5 微米以內,滿足 G8.6 代 FMM(金屬掩膜版)嚴格的像素級精度要求。


大規模尺寸一致性保障:針對 G8.6 代 FMM 的大尺寸特性,優化了蝕刻溶液的流場和溫度場控制,確保整個電路板的蝕刻效果均勻。材料適應性流程:針對鎳鉻合金材料的特性,制定了特定的蝕刻工藝參數,以減少材料應力變形并提高良率。

支持國內企業取得突破,并與產業鏈共同發展。據百度百科介紹,國內的柔性顯示面板制造商已從 G6 級別躍升至 G8.6 級別。國內企業如寰采星科技和眾凌科技正在加快產能擴張,并與京東方、三星顯示等面板制造商的 G8.6 代 AMOLED 生產線合作進行大規模生產[18][30][33]。這些進步使得上游設備的本地化需求變得十分迫切。

華洲機械的精密蝕刻設備適用于這一本地化生產過程。通過與國內領先的 FMM 公司的深入合作,我們不斷優化設備性能,以幫助客戶實現:

華洲機械的精密蝕刻設備適用于這一本地化生產過程。通過與國內領先的 FMM 公司的深入合作,我們不斷優化設備性能,以幫助客戶達成以下目標:

G8.6 代 FMM 的穩定量產:提供符合大尺寸和高精度要求的量產級蝕刻設備。


關鍵原材料的本地化:結合使用國產Invar合金材料,優化蝕刻工藝,并對從原材料到成品的整個生產鏈進行精簡。

降低進口依賴:用高性能的國產高端設備取代進口產品,縮短交貨時間,并降低客戶的采購成本。

展望未來:持續創新以推動高端顯示技術的發展

隨著 OLED 面板朝著更高分辨率和更大尺寸的方向發展,FMM也將朝著更?。ɡ?15 微米)、更精細(大于 550PPI)、更寬和更長(與 G8.6 及以上規格兼容)的方向發展。同時,對 FMM 的市場需求將持續增長,預計到 2030 年全球市場規模將達到 128.2 億元人民幣。

華洲機械將繼續專注于 FMM 精密蝕刻設備領域,緊跟行業技術趨勢,不斷提升設備的精度和穩定性。我們的目標是為國內的 FMM 企業提供強大的工藝設備支持,并共同推動中國 OLED 生產核心材料的全面國產化。

如果您對我們的 G8.6 代 FMM 精密蝕刻設備還有其他疑問,或者需要合作事宜,請隨時與我們聯系。

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