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OLED 蒸發過程中的核心消耗品

FMM（高精度金屬掩模）是中小型 OLED 面板蒸發工藝中的關鍵消耗品，直接決定了屏幕分辨率和生產良率。其核心材料是超級Invar合金，長期以來一直被日本和韓國企業所壟斷。目前，國內企業已實現技術突破并開始大規模生產。2025 年 10 月，中領科技在其生產線完成了中國首臺 G8.6 代 FMM 曝光機的安裝，實現了高世代產品制造設備國產化的突破。

國內的 FMM 公司繼續推進產能提升工作。黃石全洋光電科技有限公司成為國內第1家實現 6 代金屬掩膜大規模量產的公司。寰采星科技完成了 8.6 代 OLED 的 FMM 試量產，并且眾凌科技成為國內第1家向 G6 面板制造商交付大規模量產 FMM 的公司。南京高光實現了 2025 年 8 月首條 G8.6 代 CMM + FMM 產品的下線生產，產品孔徑精度在±2.5 微米以內。魯維光電在 2025 年啟動了擴張計劃，以提高高精度光掩模的本地化水平，并于 2026 年 1 月計劃通過定向增發不超過 13.8 億元的資金用于建設廈門高世代高精度光掩模生產基地的第1階段項目。眾凌科技完成了超過 4 億元的 C 輪融資，資金將用于 G8.6 代產能擴張和海外市場的拓展。

日本顯示器公司（JDI）開發了“eLeap”技術，旨在突破 FMM 的局限性，但該技術尚未得到廣泛采用。全球 OLED 面板市場大致分為兩條主要技術路線，即 8.6 英寸生產線上的傳統 FMM 技術和無 FMM 技術。三星顯示器和京東方采用 FMM 技術路線，計劃在 2026 年實現大規模生產。

中文名稱：高精度金屬掩模

應用領域：OLED 面板制造

材料類型：金屬或金屬與樹脂的混合物

主要制造商：DNP、眾凌科技、寰采星科技

國內創新成果：眾凌科技、寰采星科技

市場需求：預計到 2030 年將達到 128.2 億元人民幣

技術挑戰：材料變形控制

FMM是OLED蒸發工藝中的核心消耗性組件，其制造技術具有極高的進入壁壘。早期，全球 FMM 市場被日本企業所壟斷，其中 DNP占據主導地位，曾占據全球市場超過 90%的份額。DNP 不僅與三星顯示等面板制造商簽訂了供應協議，還從日本日立金屬公司獲取高端的Invar材料，形成了從原材料到成品的完整產業鏈壁壘。韓國和中國的面板制造商長期以來一直依賴進口，承擔著高昂的采購成本，并受到外部控制。

為了打破外國的壟斷局面，并確保國內 OLED 產業鏈的安全，許多中國企業從 2019 年起就開始進行 FMM的研發和產業化工作。例如，深圳浚漪科技于 2019 年正式啟動了第六代 OLED 高精度金屬掩模的研發工作。2021 年，浚潁光電（與浚漪科技有關）宣布實現了 FMM 的大規模生產，這標志著國產 FMM 從零開始取得了重大突破。

從 2023 年到 2024 年，中國國內的 FMM產業進入了快速發展階段。國內企業如寰采星科技和眾凌科技相繼實現了 G6 代 FMM 的大規模量產，并成功將其引入國內面板生產線，開始打破外國的壟斷局面。尤其是寰采星科技，在 2023 年實現了 FMM 的大規模量產，并將其引入了和輝光電的生產線。

隨著京東方和三星顯示等全球面板巨頭開始建設 G8.6 代 AMOLED 生產線，大尺寸、高精度 FMM 的市場需求大幅增長，從而引發了新一輪的技術競爭。為滿足市場需求，日本的 DNP 公司于 2024 年上半年宣布在福岡啟動其 G8 代 FMM 生產線。韓國的豐原精密等公司也在加快其 G8 代 FMM 的大規模生產計劃。中國企業在 G8.6 代 FMM 的研發和大規模生產方面取得了一系列關鍵突破。2025 年，眾凌科技和山西太鋼精密帶鋼公司聯合開發了用于寬幅 FMM 的 Invar 金屬帶材，實現了大規模生產，并突破了國內關鍵上游原材料生產的瓶頸。同年 11 月，寰采星科技完成了中國首條完整 G8.6 代 FMM 生產線的搬遷，實現了從 G6 到 G8 代的“跨越”。南京高光也于 2025 年推出了 G8.6 代高精度金屬掩膜產品。

進入 2026 年，高世代 FMM 的產業化進程繼續推進，寰采星科技的 G8.6 代 FMM 生產線預計將于 2026 年實現量產。下游面板生產線方面，京東方的 G8.6 AMOLED 生產線于 2025 年 12 月成功點亮了其第1款產品，而三星顯示也在 2026 年 1 月開始大規模生產其 G8.6 AMOLED 面板，這直接推動了對 G8.6 代 FMM 的明確需求。國內企業如寰采星科技和眾凌科技正通過持續的產能擴張和技術迭代努力在未來的全球市場競爭中占據更重要的地位。

技術原理：FMM 是 OLED 蒸鍍過程中的核心精密模具。其作用是通過數以萬計的 20 微米至 30 微米的細小孔隙幫助 OLED 有機材料沉積，從而形成顯示像素。FMM 的結構精細度直接決定了 AMOLED 面板的像素密度（PPI）。

光纖金屬微管的核心原材料是Invar合金（通常為Invar36 號合金），這種合金的熱膨脹系數極低。其厚度通常為 20 至 30 微米，有時甚至薄至 18 微米。

FMM的主要制造工藝包括蝕刻、電鑄和多材料復合工藝。蝕刻主要針對的是鎳鉻合金板進行蝕刻；日本的代表制造商有 DNP 和 TOPPAN。電鑄能生產出更薄的 FMM；日本的代表制造商有 Athene 和 Hitachi Maxell。多材料復合工藝主要采用樹脂和金屬材料的混合物來應對熱膨脹問題。

從FMM的形狀角度來看，它們可以分為槽型和狹縫型。一個縫隙金屬膜主要由五個部分組成：框架、蓋板、支撐件、對齊桿和細桿；其制造工藝被稱為網狀制造。

FMM 生產面臨著極其高的技術壁壘。孔徑精度必須控制在微米級別，例如±2.5 微米。對于較大的尺寸，由于重力和熱應力引起的變形（蠕變）而存在挑戰。對原材料的純度和均勻性也有嚴格要求。用于硅基 OLED（OLEDoS）的 FMM 技術要求更高，需要通過電鑄等方法在硅基板上進行制造，以實現數千個 PPI 的像素密度。

未來趨勢

隨著面板生產線向 G8.6 及更高規格發展，FMM尺寸也隨之增大。在制造和使用過程中，由于重力、壓力和磁應力等因素導致的蠕變、彎曲和下垂等問題愈發明顯。變形控制成為了大規模生產中的一個重大挑戰。與此同時，在高溫環境下對孔徑精度、材料均勻性和形狀穩定性的要求也在不斷提高。

高端的Invar合金（尤其是厚度低于 50 微米的產品）長期以來一直由日立金屬公司壟斷供應給 DNP 公司，這嚴重阻礙了中國FMM產業的發展。盡管像中領科技這樣的國內企業與太原鋼鐵集團合作，在國產Invar材料（寬度 400 毫米，厚度 25 微米）的量產方面取得了突破，但在綜合規格覆蓋范圍（例如 15 微米級別）和穩定量產方面，它們仍落后于國際先進水平。

2022 年，日本的 JDI 開發了“eLeap”技術，該技術采用無掩模沉積和光刻工藝，無需 FMM 即可制造 OLED，將像素密度提高到 800ppi。如果這項技術得到廣泛應用，預計將解決 FMM 的高成本、長交貨期和高小訂單要求等痛點，從而可能減少對 FMM 的需求。此外，印刷 OLED 技術還繞過了蒸發設備和 FMM，具有高材料利用率和低成本等優勢，使其成為另一種重要的替代技術。

FMM 產品將朝著更薄（例如 15 微米）、更精細（更高的像素密度，例如大于 550ppi）、更寬和更長的方向發展（適用于大尺寸面板，如 G8.6）。例如，寰采星科技展示了世界上長的 G8.6 代 FMM 樣品，長度為 1.7 米，寬處為 480 毫米。隨著三星顯示和京東方等主要面板制造商投資 G8.6 代 AMOLED 生產線，對 FMM 的需求將持續增長，預計到 2030 年全球市場規模將達到 128.2 億元。市場競爭格局正從日本 DNP 的壟斷轉向多元化，中國（例如寰采星科技、眾凌科技）和韓國（例如豐原精密）等公司的崛起推動了這一轉變。中國的 FMM 行業正從“國內生產突破”轉向“提高良率、擴大產能并進入全球市場”。國內公司如寰采星科技和眾凌科技已經實現了 G8.6 代 FMM 的試生產或整線搬遷，并正在積極規劃新的產能以滿足下游高世代生產線的需求。

上述文章引用了來自百度百科的相關資料：FMM_百度百科

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